1、激光干涉儀測量三坐標(biāo)示值誤差
隨著三坐標(biāo)測量機技術(shù)的更新和發(fā)展,傳統(tǒng)的測量檢測手段已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機的檢測要求,在實物標(biāo)準(zhǔn)器無法滿足測量要求時,使用激光干涉儀進行位置示值誤差檢測。從而減少系統(tǒng)誤差,保證三坐標(biāo)測量機的穩(wěn)定運行和測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠。
2、位移傳感器檢測
激光干涉儀檢定位移傳感器的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢,其特點是測量精度高,反應(yīng)速度快,易于數(shù)字化測量。通常,設(shè)計一個精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比:即位移傳感器自動檢測系統(tǒng)與激光干涉儀定位進行測試對比,得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。
3、檢定測長機
測長機作為計量檢測室里的主力設(shè)備,使用頻率高,通用性強,需要定期進行檢測。
傳統(tǒng)的測長機分米刻度尺示值誤差是用三等大量塊及分段專用檢具進行檢定,該方法對環(huán)境要求高,標(biāo)定方法繁瑣,如何準(zhǔn)確地標(biāo)定測長機的分米刻度尺示值誤差,是測長機檢定中不可避免的問題。
利用激光干涉儀標(biāo)定測長機的分米刻度尺示值誤差,快捷,準(zhǔn)確,可有效消除儀器溫度及環(huán)境溫度對檢定結(jié)果的影響。